基本上無(wú)塵車間認(rèn)證就是做無(wú)塵車間的性能測(cè)試，但是認(rèn)證者對(duì)所測(cè)試的結(jié)果要負(fù)完全責(zé)任，要保贊測(cè)試儀器、測(cè)試程序都滿足NEBB規(guī)定。這話說(shuō)來(lái)簡(jiǎn)單，做起來(lái)可不容易，因?yàn)榭照{(diào)系統(tǒng)與無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)變化很多，有些時(shí)候業(yè)主的要求也不盡相同。在不同的設(shè)計(jì)理念與不同的業(yè)主要求之下，測(cè)試的執(zhí)行就有些差異。因此做無(wú)塵車間認(rèn)證，首要之務(wù)是熟悉空調(diào)系統(tǒng)與無(wú)塵車間設(shè)計(jì)。

NEBB對(duì)無(wú)塵車間認(rèn)證人員〈稱為CLEANROOM PERFORMANCE TESTING 

SUPERVISOR〉的基本要求有四，一是對(duì)空調(diào)系統(tǒng)和無(wú)塵車間的了解，二是對(duì)相關(guān)規(guī)范的了解，三是對(duì)測(cè)試儀器與測(cè)試程序的了解，四是本身的經(jīng)驗(yàn)與口碑。這些是入門的要求，通過(guò)檢定成為SUPERVISOR之后，須受NEBB管轄，并且要時(shí)時(shí)溫習(xí)法規(guī)規(guī)范與關(guān)注新科技發(fā)展，每年向NEBB報(bào)到至少一次，兩年復(fù)檢一次資格，要求很多。

因此無(wú)塵車間性能測(cè)試誰(shuí)都可以做，只要會(huì)操作儀器就可以；但是要得到嚴(yán)謹(jǐn)可信賴的測(cè)試數(shù)據(jù)，就必須依靠資格符合的人士。以下資料是塵室的各項(xiàng)性能測(cè)試說(shuō)明，首先是測(cè)試簡(jiǎn)介，說(shuō)明一些基本概念，之后是測(cè)試程序及注意事項(xiàng)。至于測(cè)試的底線，就是數(shù)據(jù)不可更改也不可拋棄，這是不變的鐵律。HTTP://WWW.IWUCHEN.COM/

無(wú)塵車間測(cè)試簡(jiǎn)介

在測(cè)試無(wú)塵車間之前，若是能對(duì)測(cè)試規(guī)范、無(wú)塵車間基本概念、無(wú)塵車間的術(shù)語(yǔ)等有些了解，對(duì)測(cè)試當(dāng)有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。

一、無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范

有關(guān)無(wú)塵車間定義、建造、控制、管理等等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，在網(wǎng)路上用?CONTAMINATION 

CONTROL?搜尋，可以找到很多相關(guān)資料。無(wú)塵車間的定義，是在美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國(guó)的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無(wú)共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的全球化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵車間的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。

1.     FEDERAL STANDARD 209E (FED-STD-209E) 

：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的一版209E。在2001年11月29日，美國(guó)正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國(guó)、日本、臺(tái)灣、與中國(guó)大陸，都還沿用209E。微粒計(jì)數(shù)器的制造商，雖然都推出滿足公制計(jì)數(shù)法的新機(jī)型，但是要等舊機(jī)器完全淘汰，恐怕還要很長(zhǎng)時(shí)間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒(méi)能取代209E。

2.     

ISO-14644系列；美國(guó)政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈PART〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)范、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建造、操作、以及其他的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如PART 

1和PART 2，有些只有初稿〈DRAFT〉，有些連初稿都還沒(méi)有，讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購(gòu)。

3.     JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定無(wú)塵車間中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔凈度的等級(jí)定義。

4.     VDI 2083 (1993)：德國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈度等級(jí)的定義方式，以及潔凈度的量測(cè)技術(shù)。

5.     GOST-R 50766 (1995)：俄 國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，定義無(wú)塵車間的分類與一般需求。 

以上是無(wú)塵車間等級(jí)規(guī)定，與潔凈度量測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)無(wú)塵車間污染控制〈也就是潔凈度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫?度、震動(dòng)噪音等〉，也有一些重要的測(cè)試規(guī)范，因?yàn)檫@些環(huán)境影響因素，都包含在無(wú)塵車間性能測(cè)試的范圍之內(nèi)。

1.     IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測(cè)試規(guī)范，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測(cè)，006 

包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫?度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測(cè)試、照度等。006 的稱為006-84-T，006.2是第二版?，F(xiàn)在由于 NEBB 

的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。

2.     NEBB 無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范第二版：這是目前廣為流行的測(cè)試規(guī)范，提到無(wú)塵車間認(rèn)證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 

無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范，可說(shuō)是IEST-0062的改良版，其測(cè)試涵蓋范圍差不多，但是測(cè)試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此 NEBB 

無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測(cè)試的爭(zhēng)議，也因此 NEBB 無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān) NEBB，請(qǐng)參照本站 NEBB。

3.     ISO-14698 系列：14698 有 PART 1、PART 2、PART 3 三個(gè)子題，是有關(guān)無(wú)塵車間里面生物污染的控制，目前都只有初稿。 

每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠，對(duì)無(wú)塵車間的要求可能都不一樣。以上所列無(wú)塵車間定義與無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴(yán)格來(lái)講，這些規(guī)范也只是一個(gè)參考。各公司在訂定測(cè)試規(guī)格時(shí)，應(yīng)依照自己的制程需求，在上述規(guī)范里取出自己適用的部份，并要求供應(yīng)商與測(cè)試單位照辦，必要時(shí)可以酌情修改測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，才能真正滿足自己的需求。

二、無(wú)塵車間常用名詞 

1.     

無(wú)塵車間定義：無(wú)塵車間是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無(wú)塵車間也會(huì)對(duì)溫?度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。

2.     

微粒控制：無(wú)塵車間微?？刂频牡?一步，是把室內(nèi)微粒對(duì)制程影響的程度做完整分析，然后針對(duì)分析結(jié)果，訂定恰當(dāng)?shù)奈⒘？刂品绞脚c無(wú)塵車間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對(duì)制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。

3.     外來(lái)污染源：從無(wú)塵車間外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來(lái)污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來(lái)污染源的成因。

4.     內(nèi)部污染源：無(wú)塵車間內(nèi)部產(chǎn)生污染的來(lái)源，一般是制程機(jī)器與操作員工，嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。

5.     隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無(wú)塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，例如 CLASS 100，CLASS 

10，CLASS 1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無(wú)塵車間，或是使用迷你潔凈室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。

6.     稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應(yīng)用在潔凈度不高的無(wú)塵車間。例如在 CLASS 

10000的無(wú)塵車間，因?yàn)閾Q氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)間才會(huì)排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級(jí)之下就可以了，部要求把人員與制程隔開(kāi)。使用稀釋法作為?？刂茣r(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。

7.     

氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無(wú)塵車間或是無(wú)塵區(qū)域，對(duì)氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。

8.     單一 流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無(wú)塵車間稱為單一 流向型無(wú)塵車間，以前稱為層流型無(wú)塵車間，定義并無(wú)多大改變。高潔凈度無(wú)塵車間需要單一 流向型氣流。

9.     非單一 流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無(wú)塵車間，潔凈度較低的無(wú)塵車間都是用非單一 流向型氣流以節(jié)省成本。

10. AS-BUILT CLEANROOM（剛完工的無(wú)塵車間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已完成的潔凈室，但并沒(méi)有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。

11. AT-REST 

CLEANROOM（準(zhǔn)備中的無(wú)塵車間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已動(dòng)作的無(wú)塵車間，設(shè)備已載入并可以操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，1如所指定，但沒(méi)有操作設(shè)備的人員。

12. OPERATIONAL 

CLEANROOM（操作中的無(wú)塵車間設(shè)施）：一個(gè)已在正常運(yùn)轉(zhuǎn)的無(wú)塵車間，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已載入，運(yùn)轉(zhuǎn)狀況可以呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。 

三、無(wú)塵車間等級(jí)定義 

無(wú)塵車間的等級(jí) 

使用者在開(kāi)無(wú)塵車間的等級(jí)給供應(yīng)商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。首先是等級(jí)定義的模式如下： 

CLASS X (AT Y ΜM ) 

其中 X 是無(wú)塵車間的等級(jí)，例如 100 或 10000 等等，Y是粒徑如 0.2ΜM , 0.5ΜM 

等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵車間微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。這樣可以減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：

CLASS1 (0.1ΜM, 0.2ΜM , 0.5ΜM) 

CLASS 100(0.2ΜM , 0.5ΜM ) 

CLASS 100(0.1ΜM, 0.2ΜM , 0.5ΜM ) 

在 CLASSES 100 (M3.5) AND GREATER  (CLASS 100，1000，10000....) ，一般看一個(gè)粒徑即可。在 

CLASSES LESS THAN 100 (M3.5)  (CLASS 10，1.... ) ，一般要看多幾個(gè)粒徑。 

第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵車間的狀態(tài)，例如：

CLASS X (AT Y ΜM )， AT-REST 

供應(yīng)商就很清楚知道無(wú)塵車間要在 AT-REST狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在 AS-BUILT 時(shí)無(wú)塵車間都很干凈，微?？刂颇芰y(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：

CLASS 10000 (0.3 ΜM <= 10000)， AS-BUILT 

CLASS 10000 (0.5 ΜM <= 1000)， AS-BUILT 

這樣做的目的是確保無(wú)塵車間在 OPERATIONAL 狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰Α?/p>

以下兩個(gè)表是 FED-STD-209E 的等級(jí)定義，和ISO-14644的等級(jí)定義。

FED-STD-209E 潔凈度定義 

      CLASS NAMECLASS LIMITS 

      0.1ΜM 0.2ΜM 0.3ΜM 0.5ΜM 5ΜM 

      VOLUME UNITS VOLUME UNITSVOLUME UNITS VOLUME UNITS VOLUME UNITS 

      SI U.S. (M3) (FT3) (M3) (FT3) (M3) (FT3) (M3) (FT3) (M3) (FT3) 

      M 1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - 

      M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - 

      M 2   3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - 

      M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - 

      M 3   35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - 

      M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - 

      M 4   - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - 

      M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00 

      M 5   - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 

      M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 

      M 6   - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 

      M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 

      M 7   - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 

ISO-14644 潔凈度定義 

      ISO CLASSIFICATION NUMBER(N) MAXIMUM CONCENTRATION LIMITS (PARTICLES/M3 OF 

      AIR) FOR PARTICLES EQUAL TO AND LARGER THAN THE CONSIDERED SIZES SHOWN 

      BELOW (CONCENTRATION LIMITS ARE CALCULATED IN ACCORDANCE WITH EQUATION 

      (1). 

      0.1 MM 0.2 MM 0.3 MM 0.5 MM 1 MM 5 MM 

      ISO CLASS 1 10 2         

      ISO CLASS 2 100 24 10 4     

      ISO CLASS 3 1 000 237 102 35 8   

      ISO CLASS 4 10 000 2 370 1 020 352 83   

      ISO CLASS 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 

      ISO CLASS 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 

      ISO CLASS 7       352 000 83 200 2 930 

      ISO CLASS 8       3 520 000 832 000 29 300 

      ISO CLASS 9       35 200 000 8 320 000 293 000 

      NOTE  UNCERTAINTIES RELATED TO THE MEASUREMENT PROCESS REQUIRES THAT 

      CONCENTRATION DATA WITH NO MORE THEN THREE SIGNIFICANT FIGURES BE USED IN 

      DETERMINING THE CLASSIFICATION LEVEL.

      EQUATION (1): CN = 10N X (0.1/D)2.08 其中CN是微粒濃度，N 是潔凈度，D 是粒徑

比較以上兩表我們可看出

1.     209E 的公制和英制兩套標(biāo)準(zhǔn)，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆

2.     在兩表中 0.5 MM 幾乎出現(xiàn)在每一個(gè)等級(jí)定義中，表示粒徑 0.5 MM 的粒子非常具有代表性

3.     在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度， ISO-14644 的范圍比 209E 都來(lái)的廣，因此具有未來(lái)性

四、無(wú)塵車間測(cè)試范圍 

凡是和無(wú)塵車間環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無(wú)塵車間認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無(wú)塵車間完工之前，業(yè)主、施工單位、與測(cè)試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測(cè)試進(jìn)行。

1.     待測(cè)無(wú)塵車間涵蓋范圍、等級(jí)、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量 

2.     測(cè)試的目的 

3.     測(cè)試程序 

4.     使用儀器 

5.     測(cè)試報(bào)告撰寫方式與內(nèi)容 

6.     工期

在測(cè)試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測(cè)試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)也可以盡快排除，對(duì)業(yè)主和施工單位都有利。

IEST-0062 有一個(gè)表說(shuō)明測(cè)試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。

IEST-RP-CC006.2 TABLE 1   

      章節(jié)測(cè)試項(xiàng)目單一 流向型 非單一 流向型 混合型 

      6.1 風(fēng)量與均勻度

      風(fēng)速與均勻度 1,2,3 

      1,2,3 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.2 濾網(wǎng)泄漏 1,2 1,2 1,2 

      6.3 潔凈度 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.4 壓力 1,2 1,2,3 1,2,3 

      6.5 平行度 1,2 N/A OPT (1,2 ONLY) 

      6.6 空間泄漏 1,2 1,2 1,2 

      6.7 恢復(fù)率 N/A 1,2 1,2 

      6.8 粒子沉降測(cè)試 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.9 照度 1,OPT(2,3) 1,OPT(2,3) 1,OPT (2,3) 

      6.10 噪音 1,2,3 1,2,3 1,2,3 

      6.11-6.13 溫?度 1,2,2 

      OPT 1,2,3 

      OPT 1,2,3 

      OPT 

      6.14 振動(dòng) OPT OPT OPT 

測(cè)試的順序沒(méi)有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序

        1: 測(cè)試適用于 AS-BUILT 狀態(tài) 

        2: 測(cè)試適用于 AT-REST 狀態(tài)

        3: 測(cè)試適用于 OPERATIONAL 狀態(tài)  

        N/A: 代表該測(cè)試在該狀態(tài)下?不適用?

        OPT: 代表該測(cè)試在該狀態(tài)下為?選擇性測(cè)試?，可以視制程需求而定 

由上表可看出，風(fēng)量測(cè)試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。風(fēng)速量測(cè)，在非單一 流向型〈亂流型〉無(wú)塵車間就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是 IEST 

的建議，我們可以自行決定。

至于測(cè)試的項(xiàng)目選擇，NEBB 建議：依重要性分成三級(jí)，說(shuō)明如下。

第 一級(jí)〈LEVEL I〉: 第 一級(jí)測(cè)試是所謂的主要測(cè)試，與潔凈度直接有關(guān)的測(cè)試都屬第 一級(jí)，每個(gè)無(wú)塵車間都應(yīng)至少應(yīng)做的測(cè)試。第 一級(jí)測(cè)試項(xiàng)目包括：

A. 風(fēng)速量測(cè)

B. 風(fēng)量量測(cè)

C. 前兩項(xiàng)的均勻度分析

D. 濾網(wǎng)泄漏測(cè)試

E. 潔凈度測(cè)試

F. 壓力量測(cè)

第二級(jí)〈LEVEL   II〉: 第二級(jí)測(cè)試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。

A. 氣流平行度量測(cè)〈只適用層流型無(wú)塵車間〉

B. 空間泄漏測(cè)試〈幾乎已被壓差測(cè)試取代〉

C. 恢復(fù)率測(cè)試〈依建議只適用亂流型無(wú)塵車間〉

D. 粒子沉降測(cè)試〈近年來(lái)已經(jīng)很少做〉

第三級(jí)〈LEVEL   III〉: 第三級(jí)測(cè)試就與氣流無(wú)關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。

A. 照度與其均勻度

B. 噪音測(cè)試

C. 振動(dòng)測(cè)試

D. 溫?度測(cè)試

這里說(shuō)明 NEBB 所要求無(wú)塵車間性能測(cè)試的各項(xiàng)測(cè)試程序，當(dāng)然這些程序是 NEBB 所認(rèn)定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB 

要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說(shuō)是符合 NEBB 標(biāo)準(zhǔn)。

2.1 氣流量測(cè)

無(wú)塵車間內(nèi)的氣流控制，是維持潔凈度的關(guān)鍵，因此濾網(wǎng)〈HEPA 

FILTER〉的出口速度控制，是非常重要的課題。由于濾網(wǎng)速度關(guān)系著空氣流場(chǎng)型態(tài)、微?？刂颇芰?、換氣量與平行度等，因此無(wú)塵車間的氣流量測(cè)，是無(wú)塵車間認(rèn)證的第 一步。經(jīng)由數(shù)據(jù)分析，可察覺(jué)問(wèn)題所在，再對(duì)無(wú)塵車間做細(xì)微的調(diào)整，使性能達(dá)到要求。

本章說(shuō)明無(wú)塵車間氣流量測(cè)的步驟，分為速度與均勻度量測(cè)，風(fēng)量與均勻度量測(cè)，平行度量測(cè)等三部份。量測(cè)程序與數(shù)據(jù)分析，都是依照 NEBB 的標(biāo)準(zhǔn)。

一、濾網(wǎng)速度與均勻度量測(cè)

1?測(cè)試目的 

氣流是控制潔凈度與溫度的主要因素，它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速量測(cè)，都是放在無(wú)塵車間測(cè)試的第 一步。風(fēng)速量測(cè)的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的制約，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。

單一 流向型無(wú)塵車間，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一 流向型無(wú)塵車間，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要，因此多只需要量測(cè)風(fēng)量。 

在單一 流向型無(wú)塵車間，風(fēng)速量測(cè)的位置可由業(yè)主指定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速量測(cè)（濾網(wǎng)表面）或是無(wú)塵車間室內(nèi)風(fēng)速量測(cè)（工作高度）。

2?使用儀器 

無(wú)塵車間里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5M/S 

以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須屬于低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速量測(cè)可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如 SHORTRIDGE 

VELGRID 16 點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無(wú)塵車間內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（HOT WIRE）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí)〈0.5M/S 

以下〉準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是 THERMEISTER 式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問(wèn)題，也不適用低速。NEBB 的要求是在 

50FPM 到 120FPM 之間〈0.25 M/S 到 0.6 M/S〉，要有? ±5 PERCENT OF THE READING ?的精確度。

檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格的校正文件。

3?測(cè)試步驟

(1)    在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。

(2)    取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150MM處。 

(3)    

每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。以600┨×1200┨濾網(wǎng)為例，單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量8點(diǎn)；多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量2點(diǎn)。 

(4)    每量測(cè)點(diǎn)必須取5秒的平均。 

(5)    依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。 

(6)    記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。 

風(fēng)速量測(cè)的測(cè)試步驟，在單一 流向型或非單一 流向型無(wú)塵車間都相同。重要的是在非單一 流向型無(wú)塵車間測(cè)試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。

4?數(shù)據(jù)分析

風(fēng)速量測(cè)很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來(lái)判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。 

1.    平均值：將所有風(fēng)速量測(cè)值取算數(shù)平均   

             VAM = (V1+V2+…+VN)/N 

2.    標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)速量測(cè)值的標(biāo)準(zhǔn)差   

3.    相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差：相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差是一個(gè)百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比   

               RSD= SDV/VAM ×100

風(fēng)速量測(cè)很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來(lái)判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。 

由以上說(shuō)明可看出，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差其實(shí)只是把標(biāo)準(zhǔn)差去單位化，其物理意義與標(biāo)準(zhǔn)差一樣，都是數(shù)據(jù)偏離平均值的程度。因此，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差愈高，代表這一群數(shù)據(jù)愈不均勻，在垂直層流場(chǎng)合，當(dāng)然希望相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。

5?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

驗(yàn)收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)依照業(yè)主要求設(shè)計(jì)空調(diào)系統(tǒng)，測(cè)試單位則依規(guī)范測(cè)試，提供給業(yè)主作為允收依據(jù)。一般而言，允收條件有以下三種。 

1.     相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)速值，差距不可大于20? 

2.    量測(cè)之平均風(fēng)速，應(yīng)在設(shè)計(jì)規(guī)格之 ±5?以內(nèi) 

3.    相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在 ±15%以內(nèi) 

差距大于20?表示這一區(qū)已經(jīng)有足夠條件產(chǎn)生區(qū)域亂流，必須加以調(diào)整。關(guān)于第二條，無(wú)塵車間里面，單一的濾網(wǎng)平均風(fēng)速，通常會(huì)定在設(shè)計(jì)規(guī)格 

±10?以內(nèi)，總量才是±5?以內(nèi)。一般空調(diào)則是個(gè)別出風(fēng)口 ±20?以內(nèi)，總量 ±10?以內(nèi)。

二、濾網(wǎng)風(fēng)量與均勻度量測(cè)

1?說(shuō)明 

風(fēng)量量測(cè)的目的通常是用來(lái)計(jì)算換氣量，一般是在非單一 流向型無(wú)塵車間，或是量測(cè)空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無(wú)法使用氣罩的場(chǎng)合（氣罩體積較大，有時(shí)會(huì)受限），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來(lái)?yè)Q算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。 

同樣氣罩通常可以量測(cè)送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向量測(cè)時(shí)，其量測(cè)范圍通常會(huì)降低。 

2?測(cè)試儀器： 

風(fēng)量量測(cè)應(yīng)當(dāng)使用氣罩（FLOW MEASURING HOOD），氣罩的量測(cè)范圍是 15~2500 CFM，精確度要求為讀數(shù)的±3%。 

由于氣罩本身會(huì)產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對(duì)。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。